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Keithley 4200A-SCS 반도체 특성 분석기

4200A-SCS를 사용하여 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 연구, 신뢰성 및 고장 분석 연구를 가속화할 수 있습니다. 최고 성능의 파라미터 분석기인 4200A-SCS는 전류 - 전압(I-V), 커패시턴스 - 전압(C-V) 및 초고속 펄스형 I-V 측정에 대한 동기화된 정보를 제공합니다.

Keithley 4200A-SCS
DC 전류-전압
(I-V) 범위
10aA ~ 1A
0.2μV ~ 210V
커패시턴스-전압
(C-V) 범위
1kHz ~ 10MHz
±30V DC 바이어스
펄스형 I-V
범위
±40V (80V p-p)
±800mA
200MSa/sec, 5ns 샘플링 레이트

파라메트릭 분석 정보를 빠르고 선명하게 제공

확실한 분석 기능을 발전시키는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 4200A-SCS 파라미터 분석기는 설정부터 특성화 테스트 실행 단계까지 소요되는 시간을 최대 50%까지 단축해 탁월한 측정 및 분석 기능을 제공할 수 있습니다. 또한 임베디드 측정 전문 지식을 통해 최상의 테스트 지침을 제공하고 결과로 도출된 측정값에 대해 최고의 신뢰도를 부여합니다.

주요특징

  • DC I-V, C-V 및 펄스형 I-V 측정 유형에 사용되는 고급 측정 하드웨어
  • Clarius 소프트웨어에 포함된 사용자 수정 가능한 수백 가지의 애플리케이션 테스트를 통해 즉시 테스트 시작
  • 자동화된 실시간 파라미터 추출, 데이터 작성 및 분석 기능
Keithley 4200A-SCS MOSFET

정확한 C-V 특성화

Keithley의 최신 커패시턴스-전압 장치(CVU), 4215-CVU로 한 자릿수 펨토패럿을 측정 하십시오. 업계를 선도하는 Keithley의 CVU 아키텍처에 1V AC의 소스를 통합하면 4215-CVU에서 1kHz ~ 10MHz의 주파수에서 낮은 노이즈의 커패시턴스 측정값을 제공합니다.

주요특징

  • 1V AC의 소스 전압을 구동할 수 있는 동급 최초의 C-V 미터
  • 1kHz의 주파수 분해능(범위: 1 kHz ~ 10MHz)
  • 커패시턴스, 전도도 및 어드미턴스 측정
  • 4200A-CVIV 멀티스위치로 최대 네 개의 채널 측정
Keithley 4200A-SCS CVU

측정. 전환. 반복

4200A-CVIV 멀티 스위치는 프로버 팁을 다시 케이블링하거나 들어 올리지 않고 I-V 및 C-V 측정을 자동으로 전환합니다. 경쟁업체 제품과 달리 4채널 4200A-CVIV 디스플레이는 예상치 못한 결과가 발생할 경우 신속한 테스트 설정 및 손쉬운 문제 해결을 위해 국부적인 시각적 통찰력을 제공합니다.

주요특징

  • 다시 케이블링하지 않고 C-V 측정을 모든 장치 단자로 옮김
  • 저전류 공급 능력을 위해 사용자 구성 가능
  • 출력 채널 이름 개인화
  • 실시간으로 테스트 상태 보기
Keithley 4200A-SCS CVU

I-V 특성화를 위한 안정적인 저전류 측정

4201-SMU 및 4211-SMU 모듈을 사용하면 고커패시턴스 시스템에서 안정적인 저전류 측정을 달성할 수 있습니다. 선택 가능한 네 가지 모델의 SMU(source measure unit)를 통해 모든 I-V 측정 요구 사항에 맞추어 4200A-SCS를 사용자 정의할 수 있습니다. Keithley는 현장 설치 가능한 장치와 선택적인 프리앰프 모듈을 제공함으로써 다운타임이 거의 없이 가장 정확한 저전류 측정을 수행하도록 해줍니다.

주요특징

  • 장비를 공장에 되돌려 보내지 않고 SMU 추가
  • 펨토암페어 측정하기
  • 최대 9개 SMU 채널
  • 긴 케이블 또는 큰 척에 최적화

분석 프로버 및 극저온 컨트롤러와 통합된

4200A-SCS 파라미터 분석기는 MPI, Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 극저온 컨트롤러를 비롯하여 많은 수동/반자동 웨이퍼 프로버 및 극저온 컨트롤러를 지원합니다.

주요특징

  • "지정 및 클릭" 테스트 시퀀싱
  • "수동" 프로버 모드에서 프로버 기능 테스트
  • 가짜 프로버 모드를 통해 명령을 제거하지 않고 디버깅 수행 가능
Keithley 4200A-SCS CVU

비용 절감 및 투자 보호

Keithley 케어 플랜은 요청 시 서비스 이벤트 비용의 일부만으로 신속한 고품질 서비스를 제공합니다. 클릭 한 번이나 전화 한 통화로 수리 보증을 확보하여 견적서나 구매 주문서가 필요하지 않고 승인이 지연되지도 않습니다.

Keithley 4200A-SCS CVU
모델 설명 가격
4200A-SCS-PKA
고해상도 IV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
4200A-SCS-PKB
고해상도 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 1개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
4200A-SCS-PKC
고전력 IV 및 CV
4200A-SCS: 파라미터 분석기 메인프레임
4201-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 중간 전력 SMU 2개
4211-SMU: 고캐패시턴스 설정을 위한 고전력 SMU 2개
4200-PA: 프리앰프 2개
4215-CVU: 고해상도 다중 주파수 C-V 장치 1개
8101-PIV: 샘플 장치가 포함된 테스트 픽스쳐 1개
견적 요청
4200-BTI-A
초고속 NBTI/PBTI
4200-BTI-A: 4200-BTI-A는 최첨단 실리콘 CMOS 기술의 복잡한 NBTI 및 PBTI 측정에 최적화된 패키지로 다음이 포함됩니다.
(1) 4225-PMU 초고속 I-V 모듈
(2) 4225-RPM 원격 프리앰프/스위치 모듈
ACS (Automated Characterization Suite) 소프트웨어
초고속 BTI 테스트 프로젝트 모듈
케이블
견적 요청